信息学院吴涛课题组在AlScN薄膜射频器件与PMUT声光成像领域取得多项重要成果
近年来,随着先进压电材料、集成电路、微纳声学等领域的飞速发展,基于氮化铝(AlN)和氮化铝钪(AlScN)薄膜的压电微机电系统(MEMS)以其低成本、小体积和高性能而受到广泛关注。信息学院后摩尔与集成电路中心吴涛课题组围绕压电微纳机电系统的理论建模、器件设计、微纳工艺、性能表征、应用开发等开展长期研究,近期在基于AlN/AlScN薄膜的工艺研发和器件设计制造,压电超声换能器(PMUT)设计及声光成像应用等方面发表了一系列...
2022-12-08