上海科技大学氧化物原子层沉积系统等采购项目招标公告

上海科技大学拟采购氧化物原子层沉积系统等设备，现委托上海中招招标有限公司进行国际招标，具体公告已发布在中国国际招标网和上海政府采购网，详情请见以下链接：

氧化物原子层沉积系统：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020980

六寸全自动甩胶显影系统：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020984

超高真空样品制备及低温透镜驱动系统：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020965

深紫外/可见光/近红外光谱椭偏仪：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020990

六寸水冷基底10kW电子束沉积系统：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020976

大腔体高压低温测量系统：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020961

多功能显微操控与测力光镊：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020957

六寸晶圆大尺寸光学显微镜：

http://www.zfcg.sh.gov.cn/emeb_bulletin.do?method=showbulletin&bulletin_id=2019020997

上海科技大学设备与资产处

2019年5月28日