信息学院吴涛课题组在钪掺杂氮化铝压电薄膜与谐振器领域取得重要进展
上科大信息学院吴涛课题组致力于利用先进传感材料与微纳工艺研发微纳机电传感器件与系统(MEMS),主要包括压电声学微纳器件与IC接口电路、声光磁等多物理场调控与传感系统等。近期,课题组在高浓度钪掺杂氮化铝(AlScN)压电薄膜谐振器的研究成果发表于《电子器件快报》(IEEE Electron Device Letters, EDL),题为High Figure-of-Merit Lamb Wave Resonators based on Al0.7Sc0.3N Thin Film。5G通信需要高性能的宽带、多频段滤波器。射频带通滤波器用于选择所需信号,过滤无关的信号,是通信前端的关键。微机电系统谐振器作为一种频率选择器件,被认为是一种低成本、低功耗的主流器件之一。近年来基于多频段、单片集成的兰姆波谐振器成为了研究的热门课题。为了进一步拓展谐振器的带宽,吴涛课题组与上海科技大学量子器件中心、EVATEC公司深度合作,开发出高压电系数的材料掺钪氮化铝(AlScN)制备方法,制造出了钪浓度为30%的高浓度掺杂的AlScN薄膜材料。...
2021-09-29