时钟振荡器是数字系统的基础元件，为数字系统提供同步信号。MEMS振荡器具有抗冲击能力强、便于与电路集成等优点，是新一代时钟振荡器。中国科学院上海微系统与信息技术研究所(上海微系统所)开展了MEMS振荡器的核心单元MEMS谐振器的研究工作。报告简要介绍MEMS振荡器的原理、关键问题与上海微系统的研究进展。

嘉宾介绍：杨恒，男，博士，研究员，博士生导师。于2001年在复旦大学获博士学位，2001年-2003年在荷兰Delft University of Technology做博士后研究工作，自2003年加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所，2006年起任研究员、博导，曾担任工信部产业发展促进中心专项分委会专家委员。
杨恒从事惯性传感器、硅振荡器、微纳加工与封装技术，以及空气阻尼与噪声理论等研究工作。在SCI源期刊和IEEE MEMS、Transducers等顶级国际会议发表论文70多篇，论文引用2000多次，授权国家发明专利30多项。